电阻率测试，方阻测试
测试仪主要性能：
1. 方阻测量范围：四探针探头可测方阻范围： 1mohm/sq~5Mohm/sq
2. 四探针探头测量类型：金属层，植入、掺杂聚合物，硅化物和外延，高阻抗表面，基板
3. 四探针系统电流量程：1uA,10uA,100uA,1mA,10mA,50mA,100mA 七档
4. 四探针标准晶圆测量精度：≤±1%
