四探针晶圆电阻测试仪

高精度四探针测试盒，电源管理和运动控制系统、旋转电机，高精度中空旋转平台、高精度伺服控制系统，0~35mm运动范围

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特有两种测试电阻范围双测试头	机器主要性能	具体技术要求及指标↵
	方阻测量范围	四探针探头可测方阻范围：1×10E-6ohm/sq～5×10E6ohm/sq 高阻电极测试头可测方阻范围：1×10E4ohm/sq～1×10E13ohm/sq
	四探针探头测量类型	金属层，植入、掺杂聚合物，硅化物和外延，高阻抗表面，基板
	样品尺寸	晶圆12寸以内
	四探针系统电流量程	1μA , 10uA , 100uA , 1mA , 10mA , 50mA , 500mA 七档
	四探针标准晶圆方阻重复性	1，≤0.1%（同点静态测量） 2，≤0.1%（动态多点测量）
	四探针标准晶圆测量精度	≤±0.1%（典型晶圆）
	量测区域	以探针头的中心到晶圆的边缘距离3mm
	高阻电极测试头精度	测试精度：I>10nA:±2%;I<10nA:5%;I<1nA:10%
	高阻电流测试范围	10pA~1mA
	高阻电压输出范围	0.5v~1000V
	运动轴定位精度	50um
	测试图形	1，极地图形（在对位晶圆的notch)。 2，单点，5点，9点，49点。 3，直线扫描（可以是直径，半径或沿直径的点到点，最小距离0.1mm) 4，用户自定义（使用模板)
	测量图形表示	可以为轮廓图，3D图，water上显示的数据图数据表示
	探针自清洁功能	陶瓷片清洁
	数据处理	所有设备测量的数据文件可以被导入到Excel，Word文档，工作站等，数据图形可以合并